[2018-02-26] 대형반도체·디스플레이증착공정더 쉬워진다
자기부상기술을 이용해 반도체나 디스플레이 제조 환경 등의 진공 상태에서 대형 물품을 분진 발생 없이 이송할 수 있는 초정밀 자기부상 시스템 기술이개발됐다.
과학기술정보통신부산하 한국기계연구원 기계시스템안전연구본부 자기부상연구실 박도영 박사 연구팀은 진공 챔버안에서 800kg급캐리어를자기부상으로 왕복 이동시키는 기술을 개발했다고 26일 밝혔다.
공정에서는디귿자형 구조로 된 프레임에 부착된 전자석을 이용해 동력원이 없는 금속성 캐리어를부상,직선방향으로 이동시키게 된다. 캐리어에부착된 영구자석과 프레임에 부착된 선형 전동기, 부상을제어하는 부상 전자석,측면움직임을 제어하는 안내 전자석이 반응해 마찰 없이 정밀한 간격을 유지한 채 이동한다.
이번기술은 분진을 유발할 수 있는 마찰을 원천 차단함으로써 OLED 디스플레이나반도체 제조 과정 중 증착공정에서 가장 피해야 할 수분과 분진에 대한 차단 효과가 뛰어나 생산성을 획기적으로 개선시킬 전망이다.
OLED디스플레이나반도체 등의 제조 공정에는 증착공정이 반드시 필요하다. 증착공정은 원하는 물질을 위로 도포해 디스플레이나 반도체 기판 등 필요한 곳에 붙이는 공정이다.기판에수분이나 먼지가 닿으면 불량이 발생하고 생산율이 떨어지기때문에 청정하고 정밀한 제조 환경이 필요하다.
원문보기- http://www.zdnet.co.kr/news/news_view.asp?artice_id=20180226121649&type=det&re=
No. | 제목 | 작성자 | 작성일 | 조회수 |
---|---|---|---|---|
81 | 삼성디스플레이, 대형 OLED 투자 '시간문제'… 2019.08.07 | 월드비젼 | 2019.08.07 | 80 |
80 | 2분기 이어 3분기도…'첩첩산중' LG디스플레이 첨부파일 2019.07.30 | 월드비젼 | 2019.07.30 | 88 |
79 | LG디스플레이, 대형 OLED에 3조 원 추가 투자 2019.07.23 | 월드비젼 | 2019.07.23 | 56 |
78 | 상반기 디스플레이 수출액 97억달러…10년만에 최저 첨부파일 2019.07.18 | 월드비젼 | 2019.07.18 | 59 |
77 | 韓 쫓는 中… 디스플레이 넘어 차량용 'OLED' 넘본다 2019.07.03 | 월드비젼 | 2019.07.03 | 84 |
76 | 반도체·디스플레이 업계, "日경제제재 대응안 마련" 2019.07.01 | 월드비젼 | 2019.07.01 | 92 |
75 | LG디스플레이, 차량용 디스플레이 출하 첫 세계 1위 2019.06.24 | 월드비전 | 2019.06.24 | 62 |
74 | LG전자 첨단 상업용디스플레이 눈길 첨부파일 2019.06.14 | 월드비전 | 2019.06.14 | 95 |
73 | LG디스플레이, 올해부터 애플에 OLED 디스플레이 공급 기대 2019.05.27 | 월드비전 | 2019.05.27 | 61 |
72 | 중국발 디스플레이 공급과잉 충격 확산-삼성·LG 동반 적자…대형 LCD도 中에 밀려 2019.05.20 | 월드비전 | 2019.05.20 | 68 |
71 | 빨간불 켜진 한국 디스플레이, LG·삼성 1분기 동반 적자 2019.04.25 | 월드비젼 | 2019.04.25 | 47 |
70 | 中, LCD 잠식 이어 OLED 정조준… 韓 디스플레이산업 '위협' 2019.04.09 | 월드비전 | 2019.04.09 | 48 |
69 | 中 BOE의 턱밑 추격…애플 손에 달린 LG디스플레이 2019.04.04 | 월드비젼 | 2019.04.04 | 66 |
68 | LG디스플레이의 속앓이, LCD시대도 가고 애플도 변심하고 2019.03.29 | 월드비젼 | 2019.03.29 | 44 |
67 | 세탁 가능한 ‘입는 디스플레이’ 개발 2019.03.25 | 월드비젼 | 2019.03.25 | 53 |